分光測定装置 （理研No:8611）
発明者
小林 啓介
背景
従来、分光器を使用する際には、分光対象試料からの光を分光器スリットに導き、光軸を調整する手続きに手間がかかっていました。対象試料が発する光が赤外領域や紫外領域にある場合は、目で確認できないため検出器の信号強度を測り、その信号強度を手掛かりにして手探りで調整するという手順を踏んでいました。
技術の概要
本技術では、スリットを固定したままスリットの後ろに疑似点光源を挿入することで、アラインメントをより正確に、より容易に行うことが可能になり、装置の構成を簡潔にすることができます。例えば、レーザー励起のフォトルミネッセンス実験において試料に照射されたレーザースポットと分光器スリットの後ろから来るアラインメント用の可視光スポットの位置を目で確認しながら合わせるように、分光器・レンズ系・試料位置を調整した後、光路から調整用光源・レンズユニットを引き抜くことでアラインメントを調整することができます。
（文献情報）
- 特許第4476433号
半導体の評価に用いられるフォトルミネッセンス測定においては、分光器の出射側スリットの後部に本技術の光源・レンズユニットを光路の中心に来るように挿入し、この光源から出た光がスリット位置に集光し、さらに分光器外部のレンズ系によって試料表面のレーザースポットに結像するようにすれば、試料とレンズ系の位置を調整することが可能になります。
利点
- 分光器と外部分光器対象物の光軸合わせが簡便・正確に行うことができる
- 熟練やこつなど要しない
応用
- 多種多様な分光器のすべてに適用可能
- 半導体のフォトルミネッセンス測定
（2013年3月掲載）