IC検査・故障解析への応用
レーザーTHzエミッション顕微鏡(LTEM)によるLSIのTHzエミッション像
非接触ICカードの
テラヘルツイメージング例
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| ■研究テーマ |
- テラヘルツパラメトリック光源の高性能化
- テラヘルツ分光イメージングシステムの開発 と応用
- レーザーテラヘルツ放射顕微鏡の開発と応用
- 種々のテラヘルツ／ミリ波イメージングシステムの開発と応用
- 細胞膜のサブテラヘルツ帯共鳴振動仮説の検証
- 超高感度テラヘルツイメージングシステムの開発
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| ■研究内容 |
- 光波と電波の谷間に残された未踏の光「テラヘルツ波」を用いた新しいイ
メージング技術に関する国際間プロジェクト研究がこの1,2年欧米で強力に推進
されており、我が国でもこの分野の技術開発は急務と考えられます。
- 理化学研究所ではレーザー光の波長変換技術を用いて既存の自由電子レー
ザーなどに較べはるかに小型簡便な広帯域波長可変テラヘルツ(THz) 光源の開
発に成功し、さらなる高性能化、小型化などに関する研究を進めています。ま
た、以下のようなテラヘルツ波の応用研究を進めています。
- 広帯域波長可変テラヘルツ光源を用いた新しいテラヘルツイメージング技術の研究開発を進めています。 最近の成果として、テラヘルツ分光イメージン
グによる錠剤などの主成分解析技術を開発しました。 これは、複数の試薬が
混ざったサンプル中の特定試薬の分布密度を画像化する新技術で、光源の広帯
域波長可変性と、最近テラヘルツ帯で次々発見されている試薬類の指紋スペク
トルを活かした成果です。 この技術を用いて、郵便物検査、覚醒剤・爆発物所
持検査、医薬品検査、病理組織診断、などへの応用が期待されます。
- レーザーテラヘルツ放射顕微鏡という新しい非破壊非接触の計測診断技術を大阪大学と共同で開発し、半導体チップ（LSI）の故障解析などへの応用を展開
しています。
- 様々なテラヘルツ技術やミリ波技術を用いて、病理組織診断、DNA/タンパクチップ診断、凍結解凍モニタリング、農作物の鮮度や水分情報のモニタリン
グ、各種非破壊検査、などへの応用展開を図ります。
- 細胞膜がテラヘルツ〜ミリ波帯で共鳴振動しており、その振動が生命活動にとって未知の重要な役割を果たしている、という仮説（フレーリッヒ仮説）の
検証実験も進めています。
- テラヘルツ光源と基板吸収型超伝導THz検出素子を組み合わせることで超高感度THzイメージングシステムの実現を目指しています。
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